二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9241966 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种用于多种工业和科学应用的光阻设备。光致抗蚀剂系统涉及利用光在诸如硅片、金属板和玻璃等表面上创建图像。TEL ACT 12系统利用脉冲和连续照明方法相结合，产生高保真图像。该单元具有高精度、120 nm分辨率和0.9degree角精度,以及最小约900 mW/cm2的明亮光源。TOKYO ELECTRON ACT12的影像投影机包括一个多焦点可调镜头、一个X-Y级、两个成像臂。成像臂能够提供不同类型的闪电照明，包括脉冲闪电（PL）、连续闪电（CL）和恒压（CV）。PL方法使用预定的脉冲宽度，使光刻胶暴露于所需的光强度。CV方法允许用户以可变占空比控制投射光的电压，从而可以精确控制光的强度和分辨率。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12的阶段包括双轴电动执行器，允许精确放置晶圆或基板，以便创建精确的图像。舞台还设有SmartRoute™工具，方便高效的晶圆运输和定位。资产还包括一个视觉模型，有助于图像控制（对齐和聚焦），并允许根据实时图像反馈进行调整。总体而言，ACT12是一种光刻设备，可以在基板上形成高精度的图像。自动化和先进的成像系统使其成为半导体生产等行业的理想选择。可调透镜系统、双轴电动执行器、SmartRoute™单元都是使本机在控制和成型精确图像方面极为有用的优势特征。