二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244893 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款由TEL开发的用于半导体和平板显示器生产的高性能光刻设备。该系统利用先进技术，通过光刻实现高度精确的蚀刻和图样沉积。该单元由四个主要组件组成：电源、步进电机、曝光光源和图桉化沉积工艺模块。电源的任务是为机器提供精确和稳定的电力。此电源用于为步进电机和曝光光源供电。步进电机旋转并精确定位光掩模,光掩模包含要转移到目标基板上的图样。曝光光源是一种高度精确的辐射源，用于在基板上曝光光刻胶层，从而产生所需的图桉。图桉化沉积工艺模块是工具的组成部分，通过即时、准确地控制沉积速率，使产品的实际材料能够沉积。由于精密电机和先进的对准和控制算法，该资产能够以极高的精度重新创建图样和基板特征。模型的运动控制精度在10-40纳米范围内。此外,TEL ACT 12还具有内置的数据管理功能。这样就可以记录和分析有关图样沉积的实际数据，以确保每次生产时产品的质量。该设备具有通过实际生产数据分析和反复试验建立最优工艺参数的能力。该系统对于大规模生产至关重要，在这种生产中，精确度在微小的误差范围内可能意味着浪费产品的灾难性成本。TOKYO ELECTRON ACT12的先进特性使其成为企业在生产过程中追求效率和优越品质的理想选择。