二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244894 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是为了广泛的应用而设计的光刻胶处理设备。它允许用户以高精度和可重复性开发各种各样的精细结构模式。该系统配备了先进精密的半导体工艺控制器，支持各种定制工艺。该设备能够产生分辨率高达200 nm的高清模式。光致抗蚀剂工艺涉及在基板上施加一层光敏材料。一旦使用了光致抗蚀剂，它就会暴露在适当类型的光下，例如深紫外线。曝光激活了某些区域的光致抗蚀剂，材料在那些区域变得硬化，使其对随后的化学过程免疫。TEL ACT 12机器附带了一套专有软件，为操作员提供了一个功能强大的范围或工具和功能来设置所需的流程。它包括一个Soft Detail Generator （SDG）程序,它允许用户在将模式处理成基板之前快速准确地模拟和调整模式。它还设有一个单独的气体控制站，可以精确调整每个工艺步骤的气流。该刀具的精确度得益于其先进的运动控制资产,该资产提供动态运动轮廓以及运动稳定,以确保准确高效地放置图样。该模型能够在X和Y方向上执行极快、高精度的基板运动。TOKYO ELECTRON ACT12还配备了先进的成像设备，允许用户在创建模式时进行检查和验证。它利用高分辨率相机拍摄基板的图像。它可以检测基板中的微缺陷，并将此信息传递给控制器进行校正。该系统还得到自动晶片清洗和加工单元的支持，该单元为操作员提供高效、集成的过程控制、清洁、干燥和预烘烤操作。集成设计允许以最小的努力执行高效和经济高效的工作流程。ACT12是一种高效、经济高效的光刻胶加工机,旨在实现广泛的应用。它配备了先进的工艺控制器、精密的软件、燃气控制站、高精度和快速运动控制工具以及自动晶圆清洗工艺。它的高分辨率成像技术使其能够检测和纠正基板中的微缺陷，其集成的设计和高效的工作流程为用户提供了一个功能强大且经济高效的工具来满足其光刻胶处理需求。