二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9250635 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9250635
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
(4) Coater / (4) Developer system, 12" (2) Blocks (4) Nozzles RDS Pump Right to left Missing parts: IRA Z-axis driver IRA Y-axis driver IRA TH axis driver TNH Hard Disk Drive (HDD) 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是利用先进技术在半导体集成电路上创建高质量、光刻生产的薄膜图样的光刻设备。这个系统,通常也被称为一个先进的光刻单元,旨在使较小的图样能够以非常高的速率产生。该机采用先进的光发射器,将其冷却至极低温度,以提高光发射效率。这些光发射器可用于用紫外线或其他光束照亮晶片层,然后与晶片上的化学涂层反应。光束是借助高功率激光二极管产生的,其输出是借助先进光学控制的。光发射器还允许非常紧密的聚焦,这使得在配合适当的掩蔽技术时可以达到非常小的特征尺寸。TEL ACT 12工具还采用了先进的高质量镜片,这些镜片具有卓越的材料和专业知识。这些镜头的设计方式使其能够实现极其精确的成像,这对于生产复杂的微观特征非常重要。镜片还允许很宽的视野和极长的工作距离,而不会造成光学失真或幻影。除此之外,该资产还可以与先进的湿式或干式光刻工艺结合使用,从而可以生产更小的特征尺寸。这是通过溷合使用创新的抗蚀剂、光致抗蚀剂浆料、化学处理和其他技术来实现的,以便有效地将图样转移到晶片上。最后,TOKYO ELECTRON ACT12模型是非常可靠和准确的,使用先进的子系统,这意味着它能够在不同的晶片上进行精确的重复模式。这与使用先进的光学和其他功能一起,使其成为最先进的光刻系统之一,非常适合创建复杂的集成电路。
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