二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251071 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，设计用于实现各种半导体材料的精确和受控沉积。该系统由蒸发源、惰性气体载体单元和精密控制单元组成。蒸发源由高效直流电（DC）或交替电流（AC）电源和独一无二可容纳2,300克材料的crucible设计组成。惰性气体载体机包括两个主要部件：真空适配器和带有半透膜的载体室。真空适配器有一个载流子腔的连接点，允许引入精确水平的惰性气体。控制单元具有精确的PID自动调整工具、动态温度指数控制（TIC）、实时记录资产和精确警报模型等高级功能。PID自动调谐设备监视源腔室温度,以确保在几分钟内达到所需的温度水平。TIC系统允许在一定温度范围内进行精确和可重复的沉积。实时记录单元记录每个实验期间的数据，可现场和远程使用。精确的报警机监视并发出过程中可能出现的任何不规则性信号，允许用户在任何损坏发生前采取纠正措施。整个工具重量轻,效率高,重量仅为20公斤,只需240V便可汲取动力,适合各种应用。它还具有一个集成的排气收集器，用于收集和消除潜在的有毒物质。此外，资产是高度可配置的，允许为每个沉积编程和优化自定义参数和配方设置。因此，TEL ACT 12是各种半导体精确和受控沉积的理想解决方桉，允许用户达到与行业标准相当的产量和质量水平。