二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9255021 待售
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ID: 9255021
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Coater / Developer system, 12"
(4) Load ports
(4) Spin modules
(22) Plates
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光刻设备，用于光刻和蚀刻工艺。该系统主要用于生产印刷电路板，因为它允许对基材进行非常精确的图样化。该单元由光致抗蚀层、接触面膜、曝光单元和显影剂单元组成。光致抗蚀层是光或辐射相互作用的元素。光致抗蚀剂层是一层对辐射敏感的薄层材料，因此当光或辐射通过接触面膜时，会与光致抗蚀剂发生反应，引起化学变化。这种变换特定于辐射的能级，因此使用具有各种不同能级的接触掩模允许选择性去除和改变光刻胶层。接触面膜本身通常由玻璃、石英或金属基板组成，上面印有辐照图像。这会在光致抗蚀剂层上创建有选择地暴露的区域,从而能够创建特定的图样。接触面膜直接放置在光致抗蚀剂层的上方。曝光单元是将接触面罩置于其上的元素。该单元发射改变光刻胶所需的辐射。根据使用的辐射类型和设置，可以达到不同的效果。辐射变化是为了提高正在创建的图样的准确性。最后，TEL ACT 12的最后一块是开发者单元。这是在辐射照射完成后使用的。显影剂装置的工作原理是去除光致抗蚀剂层的裸露部分，使未暴露部分保持完整。这样可以对基材进行非常精确的图样处理。总之，TOKYO ELECTRON ACT12是一种复杂而精确的光刻机，可用于在基板上创建精确的图样。通过使用经过专门调整的辐射水平和接触面罩，可以实现光刻胶层的选择性去除和改变，这使得可以生产高度错综复杂的印刷电路板。
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