二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9270889 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是领先的微电子公司在生产集成电路和其他敏感电子元件时所使用的光阻设备。它是一种通用的高精度光刻系统，利用电磁辐射如紫外线或电子将图样印在感光材料上。TEL ACT 12单元采用机械级和真空板的精密机构，产生精细的分辨率和景深控制。可移动的两轴精密机械级用于对齐和移动光刻晶片。无论晶片大小,其精度都能确保高质量的结果。舞台可以在X和Y方向上移动，能够达到0.0001微米的精度。在成像过程中,真空板将基板固定在适当的位置,因此晶片在成像过程中不会移动。光致抗蚀剂是使用自动化学机器，它精确地分配所需的抗蚀剂在基板上预先确定的模式。这种抗蚀剂在光刻过程中保护基板。分配过程由计算机控制，以确保化学品的准确性、可重复性和有效使用。成像工具包括一个真空密封的投影式光刻工具，它使用紫外线将图样从掩模转移到光刻胶上。对于大型基板，该工具能够达到最低11 µm精度和0.35-µm分辨率。它专为高通量生产而设计。TOKYO ELECTRON ACT12资产还具有自动缺陷分析和检测功能。此功能使用复杂的软件算法来查明模式中的缺陷,使制造商能够快速高效地识别和解决错误。TEL Photoresist ACT 12模型旨在为制造商提供高精度、可重复的光刻和成像结果。这确保了微电子元件生产和制造的最高精度和可重复性。