二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9289936 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是TEL Limited的光刻胶设备。该系统可高速生产微电子设备和其他组件,而不会影响精度。该装置采用液体光致抗蚀剂材料，通过自旋涂层工艺将其应用于晶片表面。此应用程序非常精确,使用高级控制算法来补偿位置错误。一旦应用了光致抗蚀剂，TEL ACT 12将紫外线光源应用于晶片。这种光经过精确校准，可以设置为特定的波长、光束轮廓和强度。有了这种光，光刻胶材料就会暴露在适当的光和热图样中，从而创造出光刻胶中的详细特征。光致抗蚀剂暴露后,将零件放置在辅助加工室中。在这里，光刻胶暴露于曝光后的烘烤过程中。这有助于将材料重新定位为所需的形状,并允许光刻胶中的特征变硬并变得更耐用。最后,可以将零件放入显影剂溶液的浴缸中。这种浴液蚀刻掉了这种不需要的材料，在这些材料中没有施加光和热，留下了光刻胶中设定的特征模式。在这之后，可以用第二个显影剂溶液去除了剩下的材料，包括光致抗蚀剂，完成过程。TOKYO ELECTRON ACT12是TOKYO ELECTRON LIMITED的精密光刻机，专为微电子元件的精确制图而设计。该工具利用旋转涂层工艺、精密紫外线、曝光后烘烤和显影浴来创建光刻胶的详细特征。这一资产对于快速生产微电子元件是有效的，而不影响精度。