二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290880 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种为微加工而设计的光刻胶设备。该系统是一种先进的光阻处理技术,使客户能够以无与伦比的精度、可重复性和速度生产半导体器件。它由几个组件组成，包括一个紫外线源、自动曝光控制和自动对准单元。UV光源是一种高能氙弧灯，它发出紫外线，用来曝光光刻胶上的图样。发出的光通过镜面透镜聚焦并指向晶片。自动曝光控制监控和调整光线强度，以确保一致曝光。自动对准机使用先进的激光扫描仪检测光刻胶上的图桉。然后，扫描仪计算光刻胶相对于遮罩的位置和方向，并相应调整对准。这样可以确保光刻胶上的曝光图桉准确且可重复。一旦曝光完成，就开发出光刻胶。丙酮通常用于去除光刻胶的裸露部分，留下图桉。然后将此图样用作蚀刻基板的模板。TEL ACT 12是一种功能强大而精确的光刻工具，可以处理具有复杂功能集的小型设备。它具有紫外线源、自动曝光控制和自动对准资产等功能,使客户能够生产精确度和可重复性无与伦比的半导体器件。此外,该模型与各种基材和抗蚀剂兼容.