二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9315813 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，设计用于处理微芯片制造过程中使用的化学品。它专为光刻胶在半导体晶片上的应用而设计，具有高度精确的测量和控制系统。TEL ACT 12利用基板传输系统，该系统用于在整个单元内传输半导体晶片，而无需使用机械拾取工具。这样可以对过程进行更精确的控制,确保通过机器的每一批晶片均能获得一致的高质量结果。光刻工具由几个不同的模块组成，每个模块负责晶圆制造过程的不同阶段。加热模块用于在精确的温度和时间下加热晶片，确保光致抗蚀剂均匀和完全地应用。另一个模块用于溷合和分配显影剂，以适当开发光致抗蚀剂，还包括精确的安全措施，以确保与极为有效的化学品相关的危害非常低。资产还具有控制模块，用于配置光刻胶应用过程的每个阶段。通过此模块,可以最佳地配置给定配方,确保精确的浓度水平、分散周期和安全监控措施适合客户的需要,并确保不会因剂量或浓度错误而出现危险情况。此外，TOKYO ELECTRON ACT12采用闭环模型设计，可实时监测和记录与光刻胶工艺各阶段相关的各种参数。这为用户提供了一种额外的安全检查手段，确保立即解决设备中的任何违规问题，同时避免对晶片造成潜在损害。最后，该系统设计得极为紧凑，空间效率极高，能够在有限的区域内安装其中几台机器，对其他工艺或设备设备的干扰最小。对于那些希望最大限度地提高其处理能力而又不牺牲宝贵空间的客户来说,这是一个理想的选择。最重要的是，ACT 12的封闭性质保证了所有程序都受到密切监测，防止未经授权进入或受到外部来源的干扰。