二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9358605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一种用于制造先进集成电路的光阻设备。它由光源、光学、喷雾分配系统、控制器和软件组成。光源可以精确地曝光光刻胶材料，然后由喷雾分配装置将其分配到晶片上。控制器和软件提供机器的控制和监督，并能够编程曝光参数，应用光刻胶，以及设备诊断。光源基于频闪光照，具有电子束二极管。电子束经过光束发射器，然后是透镜，最后是狭缝光圈。这样一来，曝光就会扩大，并实现均匀的光分布。光学器件的设计确保晶圆上的照明模式非常均匀。光学元件包含彩色滤光片和光圈遮罩,可优化景深并提高均匀性。喷雾分配工具采用压力脉冲和低压、高频产生的电场相结合。这使得光敏材料能够均匀、准确和可重复地覆盖到晶片上。控制器和软件控制资产的操作，允许用户设置曝光模式或对整个过程进行编程。软件还生成屏幕诊断程序,为用户提供有关模型和组件状况的反馈,并分析生成的图像。综上所述，TEL ACT 12光刻设备是一种精密高效的复杂集成电路制造方法。通过将光源、光学器件、喷雾分配系统、控制器和软件相结合，设备能够提供高质量和一致的结果。