二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9377247 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是用于光刻工艺的光刻设备。该系统使用反应性化学将布局模式转移到诸如晶圆之类的基材上。整个过程围绕着一个叫做光刻的过程，在这个过程中，光被用来将一个图桉从一个掩模转移到一个晶圆上。该过程开始于一种光敏材料，也称为光敏材料，被应用到晶片上。这种光致抗蚀剂暴露于用作遮罩的光中。当晶片以一系列化学物质发展时，晶片上只剩下暴露于光的区域。TEL ACT 12是一个高度精密的单元，能够控制准分子激光所使用的紫外线，从而能够精确控制光照持续时间和强度。这种高级控制功能的组合允许精确和复杂的图样打印到晶圆上。机器由计算机控制的晶片步进扫描仪操作，负责精确定位晶片，使掩模精确对准晶片的电路模式。这种步进扫描仪还具有控制光刻膜聚焦位置的能力，以确保精确的图样打印到晶片上。然后，光致抗蚀剂在显影剂中显影，光致抗蚀剂的裸露部分溶解掉，形成所谓的"显影"光致抗蚀剂。此过程允许对集成电路中的各层进行精确蚀刻。TOKYO ELECTRON ACT12工具可以容纳从高纯度硅片到石英和玻璃等多种基材，并且可以结合不同数量的步进扫描仪工艺以适应不同的光刻应用。它能够同时执行众多过程，使其成为生产半导体器件中不可或缺的工具。综上所述，ACT12是一种光刻资产，利用紫外线和反应性化学在基板上精确蚀刻图样。该模型用途广泛，可容纳范围广泛的基材，从高纯度硅片到石英和玻璃，并且可以结合不同数量的步进扫描仪工艺，以适应不同的光刻应用。