二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9384924 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是由TEL Limited（TOKYO ELECTRON）由光源、光掩模和投影光学器件组合而成的光阻设备。它是一个主要用于半导体工业生产集成电路的大型注册和模式系统。该单元由光学机器、基板表和控制工具等三个主要组件组成。光学资产有两个主要组成部分：光源模块和投影透镜。光源模块由短波长准分子激光器、气体激光器和照明灯等源组成。光学模型中使用的投影透镜被设计为提供最高质量的图像聚焦，以便精确地将图样复制到基板上。采用高精度5轴基板级精确定位投影透镜下方的晶片。5轴级提供了高稳定性和高精度,以支持可在最新技术中解决的最小阵列特征。控制设备基于Windows OS平台，允许用户友好操作。它包括自动对齐功能以及其他复杂的阵列控制功能。该系统可用于通过使用单个光掩码创建重复模式。或者,该单元可以使用多个按顺序编排的光掩码,以获得更复杂的图样。TEL ACT 12专为大批量生产而设计,具有高通量、低成本、可靠性和可维护性,使公司能够为客户提供高效的工具,将其设计转换为物理设备。该机适合打造多种元件，包括射频元件、薄膜晶体管、内存芯片和复杂的处理器设计。由于其最小宽度可达到7nm,因此适合在单个模具上生产需要示意图和微机械阵列的元件。综上所述，TOKYO ELECTRON ACT12是由高精度光学元件、5轴基板级和精密控制资产组成的先进光刻工具。该模型具有优异的性能和高质量,非常适合生产需要微型和复杂模式的元件,是半导体行业的宝贵工具。