二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9402603 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12光刻设备是用于制造半导体晶片的光刻系统。该单元应用光敏膜，称为光抗蚀剂，以化学方式修改晶片的表面。它利用紫外线来有选择地影响光刻胶，从而能够在晶圆的表面上创建图桉化的层。TEL ACT 12机器由光源、控制工具、抗蚀剂和舞台四个主要部件组成。光源使用灯和导光板将紫外线均匀地施加到晶片表面。资产的控制模型包含几种控制功能，如控制光强度的可编程方法，以及软件控制的定时mod。抗蚀剂涂抹器使光刻胶涂在晶片上，并控制薄膜的厚度。该级用于以允许紫外线覆盖整个表面的方式精确移动晶片。TOKYO ELECTRON ACT12设备的UV光可以聚焦在晶圆上创建单层和多层设计。这允许广泛的设备设计，从微米级特征的微芯片到分子薄层。此外，其先进的控制系统为保证抗蚀剂的均匀沉积提供了高度的精度。ACT12单元使用自动模式识别（APR）和自动对焦校正等高级功能来确保精度和准确性。APR是一种使用传感设备检测紫外线光源"曝光"阶段产生的模式变化的方法。自动对焦校正是一种修正紫外线水平小偏差的算法，导致整个晶片的模式均匀。总之，TOKYO ELECTRON ACT 12光致抗蚀器是一种用于半导体晶圆加工的强大工具。它利用紫外线光源、抗蚀剂和高度先进的控制工具来创建统一和精确的模式。APR和自动对焦校正实现了可靠高效的操作，使得复杂设备的制造成为可能。