二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9412735 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12是一款光刻设备，旨在为半导体制造提供先进的光刻工艺能力。这种最先进的系统能够准确高效地开发具有卓越图像分辨率和均匀性的先进设备体系结构。光阻装置采用全步进扫描成像机，利用高分辨率光学和多种成像模式，创建增强的图样和图像。TEL ACT 12具有广泛的参数,允许用户自定义该工具以满足其在一系列流程中的确切要求。其完整的步进扫描成像资产能够产生最高的图像分辨率图像，高达0.18微米。该模型具有两种成像模式：全场成像和步进扫描成像，以便为用户提供多种成像选项。全场成像在一次曝光中生成整个图像,而步进扫描成像通过多次曝光生成更高分辨率的图像,然后将这些图像组合起来。TOKYO ELECTRON ACT12提供了一系列增强用户体验的附加功能。这些功能包括自动晶片对准和定心、光束自动聚焦以及低k黑边预防。自动晶片对准和定心设备有助于确保最高的图样放置精度,而光束聚焦功能可提高分辨率和变焦。黑边防护功能最大程度地减少了由于从暴露的光刻胶边缘衍射而产生的图样失真。TOKYO ELECTRON ACT 12的用户界面可以方便的导航和控制系统。它带有高度直观和用户友好的图形用户界面。通过这个界面，用户有能力操纵和监控整个过程的参数，以及对数据进行实时分析。此外，该单元还配备了数据存档和检索机，以提供无缝的用户体验。TEL ACT12是一种高效且先进的光刻工具,旨在提供最高质量的图像,同时比以往更快、更高效地完成流程。由于资产中所包含的各种特性和功能，它对于那些参与半导体制造的人来说是一个可靠而有效的工具。