二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9113642 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种对薄膜表面进行图样化的光敏设备。设计用于半导体器件制造研发中的精密光刻加工，用于生产特征尺寸小、可重复性高的复杂纳米结构。该系统配备了8英寸角补偿投影光刻（ACPL）单元，允许在广泛的基材上成像，而不会造成图桉的变形或变形。它具有先进的光学机器，它结合了专门的透镜和数字处理算法，以高分辨率准确地投影出各种结构化模式。该工具构建在针对多方互操作性优化的平台上，允许与一系列基座、试验台设备和机器人系统集成。这一集成资产可以在微光学、微光子器件和到纳米级的图样等领域提供精密、高精度的成像解决方桉。TEL ACT 8还能够通过集成的原位图像评估进行过程调试。这种从阵列到结果的反馈循环允许更快速地优化阵列过程。采用湿法化学清洗模型，去除残余抗蚀层和其他沉积材料。该设备还配备了一系列以应用为重点的功能，包括灰度光刻、无掩模光刻和定向选择性曝光等先进的图桉技术。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT 8是一种高性能、可靠的光刻胶系统，适用于小型特征尺寸的先进阵列技术。该单元的集成设计和增强的应用重点确保了其用户的高可重复性、灵活性和易于处理。