二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9121685 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种光阻设备，设计用于蚀刻、曝光、对准和开发用于制造半导体器件的光掩模或光掩模。它是一个先进的光刻系统，具有先进的微处理器控制步进单元。TEL ACT 8的最先进的特点是它能够将光掩模相对于晶圆精确对齐。该机器允许精确和可重复对准,精度为+/-2微米。这样可以确保将暴露在晶片上的任何图样都准确地注册到掩码上。该工具还具有最先进的多阶段曝光资产,可实现快速、准确的曝光。该型号包括一个由精密微处理器控制的一个抵抗旋转器和一个10,000 rpm旋转器。这样就可以对抗蚀剂材料进行精确、可重复和均匀的沉积。TOKYO ELECTRON ACT 8还具有非常精确、可重复的真空卡盘。这样可以牢固地固定晶片而不会打滑，防止晶片表面受到任何污染。该设备包括一个光源，即DUV（深紫外线）或IR（红外线），允许在曝光时使用特定波长的光。还包括一个工艺气体处理系统，在开发阶段可用于化学灰化，以及在蚀刻和开发过程中控制大气和温度。曝光和开发单元采用高分辨率摄像机，可实时观察开发过程，并提供透焦视图，这意味着即使在小特征尺寸下，曝光和开发过程也可根据预期结果进行优化。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8还能够监测加工室内的环境条件，包括温度、湿度、气流和压力感测。这确保了过程结果的一致性,并且是许多需要精确环境条件的过程的重要特征。ACT 8是一个可靠的光刻单元，具有精确、可重复的对准和先进的自动曝光和开发机器。其全自动操作使其成为任何生产环境的理想选择。