二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142710 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
ACT 8
ID: 9142710
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
(4) Coater / (3) Developer system, 8" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是设计用于各种光刻工艺的光刻设备。该系统用于将光刻胶材料光学暴露于紫外线(UV)或极紫外线(EUV)下,允许在光刻胶中形成图桉。TEL ACT 8采用投影光学,有效放大了感光材料中图桉的某些特征。光致抗蚀剂单元包括一个投影面罩,其中包含图样、投影透镜和各种光学元件,将UV或EUV光引导到感光材料上。投影光学器件提供高分辨率和准确度的光敏材料的曝光。这台机器可以与各种掩码对齐器和步进器配合使用,允许广泛的性能能力。此外,TOKYO ELECTRON ACT 8可用于各种操作,包括模式转移和比对注册。此外,还可以将一系列开发过程与光刻胶工具结合使用。此外,该资产可用于一定范围的温度和压力设置,允许优化过程以获得所需的结果。这种光刻胶模型可靠易用,适合多种应用,包括半导体光刻、平板生产、光学MEMS制造等。设备还与多种基材兼容,如硅、石英、玻璃等。ACT 8有各种尺寸和配置,以满足不同行业的不同需求。光刻胶系统符合各种国际质量标准和安全协议,适合各种关键应用。该单元可与一系列附件一起使用,如晶圆处理和机器人手臂,以增强其功能。该机器还具有内置的数据记录工具,以便于跟踪资产性能和操作数据。总体而言,TEL ACT 8是一个可靠和精确的光刻模型,设计用于各种光刻工艺。它易于使用,可与一系列掩码对齐器、步进器和开发过程一起使用。该设备适合各种应用,有各种尺寸和配置。
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