二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9159075 待售
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ID: 9159075
晶圆大小: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
(7) LHP
(3) CHP
(1) HHP
(5) CPL
(1) CWL
(2) TRS
(1) ADH.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是为制造高分辨率、高精度微电子而开发的先进光刻设备。该系统具有强大的光学、扫描和图像处理功能,使用户能够生产具有微观特征和令人难以置信的小型结构的设备。该单元由多个组件组成。采用最大波长为248nm的准分子激光器直接成像光敏胶片。光敏膜是在一个特殊的涂层室中制备的,通过使用惰性气体均匀分散。这使激光器能够精确形成创建小型设备所需的结构。该机的光学元件由一系列聚焦和重新聚焦激光束的透镜组成。为提供精细的细节,镜头系统设计的公差极小。它们由两个独立的小组组成;一组用于初始成像,另一组用于推进特征大小。这些组还配备了几个额外的设备来微调成像质量。为了精确地引导激光束,设计了一个电子控制的检振扫描镜。利用这种工具,任何角度都可以快速准确地扫描,以形成极小和复杂的微电子。TEL ACT 8的图像处理能力是创建高精度设备的组成部分。数字图像处理器用于识别任何不规则性并进行补偿以确保精确的一致性。甚至可以检测到纳米级的特征,以保证精度和质量。TOKYO ELECTRON ACT 8还具有健壮的成像后解决方桉。在成像过程之后,预制了一系列先进的治疗方法,以进一步提高设备的性能。气体处理可用于优越的附着力,碱处理可用于提高导电性。ACT 8具有强大的光学、扫描和图像处理能力,是创造微电子器件的宝贵资产。它的高级功能和成像后解决方桉使用户能够创建性能得到改善且功能小巧复杂的设备。
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