二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9181934 待售
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已售出
ID: 9181934
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
(2) Coaters / (2) Developers system, 8"
Software version: 1.18.003
Hardware configuration (Fab):
Main system:
(1) Main body CS block
(1) Main body process block
(1) Main body interface block
(1) T&H controller
(1) Chemical cabinet
SMIF System:
(4) SMIF Indexers
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
(1) AC Power box
Equipment configuration:
Software: JapDOS
Controller: Silicon disk
Floppy disk drive: 3.5"
Hardware:
(4) Indexers
(3) Robot arms
(5) Cool plates
(6) Low temp hot plates
(2) Hot plates
(1) AD Unit
(1) WEE
(1) Cup wash
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）开发的光阻设备。该系统可用于各种应用，如光刻、蒙版和蚀刻工艺。这种光刻装置具有许多特点，使其成为各种光刻工艺中的绝佳选择。首先，这种光刻机采用一种特殊类型的曝光头，可以调整以提供不同程度的曝光。这使用户能够根据他们正在处理的光刻过程来调整曝光。另外，这种光刻胶工具还使用了高度敏感的一代抗蚀剂，用于提供出色的抗蚀剂均匀性和可靠的图桉。这种抗蚀剂也可用于一定范围的薄膜厚度。此外，TEL ACT 8还配备了一个自动曝光传感器资产，能够确定每个光刻工艺的最佳曝光。此模型将为用户提供设置和控制曝光设置的自动化过程,以确保结果一致。设备还包括多种其他功能，如自动缺陷检查系统、车载监视器、报警单元和用于从基板上取出薄膜的真空单元。它还包括一个自动关闭快门。此外，机器还可以与外部晶圆处理机器人集成，用于自动晶圆操作。TOKYO ELECTRON ACT 8被设计为光刻工艺的简单、经济高效的解决方桉。它易于使用,性能可靠,效果优异。小型和大型制造工厂都可以从将此工具集成到其生产过程中获得巨大收益。
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