二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9183643 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是将先进的曝光控制技术与光刻工艺相结合的光刻设备。该系统使用专有的曝光控制和定位算法,确保线宽曝光和对准的高精度和准确性。此外，该单元的快速响应和可靠的曝光能量补偿确保优秀的线宽均匀性横跨晶片。TEL ACT 8机器采用大面积的高分辨率晶圆成像曝光控制技术，确保了出色的步进和重复精度和对准。这包括自动曝光控制工具算法,这些算法可提供高级曝光控制和曝光控制微调,以进行有效的曝光管理。此外，它的大面积成像和高光学放大倍率确保了资产能够检查高精度光刻过程中的小缺陷、细小图桉和接触孔。TOKYO ELECTRON ACT 8模型使用软件控制的显微镜扫描提供高精度对准，以协助高精度和可重复曝光效率。此外，其晶片处理程序和扫描仪可提供高达30微米的步进和重复精度，从而确保高质量和更均匀的光刻工艺。TEL ACT 8设备还配备了先进的工艺监视器，可以连续监控曝光稳定性和模式大小变化，以便准确地保持输出。此外，系统还有一个集成的自动缺陷检测分析（ADIA）程序，在光刻过程中自动检测异常。这使用户能够快速识别任何潜在问题并减少生产中的缺陷。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种高性能的光致抗蚀剂单元。它将先进的曝光控制技术与光刻工艺相结合，确保了线宽曝光和对准的高精度和准确性。它的快速响应和可靠的曝光能量补偿确保了晶片之间出色的线宽均匀性,而其大面积成像和先进的Process Monitor和ADIA程序提供了识别潜在问题和减少缺陷的能力。