二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9213368 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种最先进的光阻设备，非常适合半导体器件制造应用。该系统结合了先进的技术和可靠性和易用性，以确保过程的一致性和提高产量。该单元从基板开始，基板上涂有光敏抗蚀剂材料，称为光敏抗蚀剂。一旦涂覆，抗蚀剂就暴露在紫外线下，使暴露的区域聚合。然后，这个暴露的区域对随后的化学蚀刻过程变得不敏感，该过程会去除未暴露的区域。TEL ACT 8利用七轴运动控制机精确剂量和控制暴露剂量率。这允许高分辨率的阵列和提高工艺产量。整个工具可以集成到广泛的设备制造过程中。作为这种集成的一部分，控制软件提供了一个操作员界面，使操作和配方的创建更加容易和可靠。资产还具有先进的成像模型。这样就可以精确地确定蚀刻配置文件,并随后分析过程中的数据。这种先进的成像设备可确保以受控的方式去除抗蚀剂,从而能够精确控制随后的设备制造过程。TOKYO ELECTRON ACT 8提供了进行可靠光敏处理所需的所有功能。这包括自动晶圆处理交付、曝光剂量控制、图样制作、蚀刻和成像。这样可以确保实现有效的过程控制,并确保过程的一致性,从而提高设备产量。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是光刻过程的完整溶液系统。这个先进的单元具有现代化的技术和可靠的操作，以确保一个一致和高效的过程。这台机器一定会给设备制造商和用户带来巨大的好处。