二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9229569 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL Corporation生产的光致抗蚀剂设备，是半导体行业中需要精确深紫外线曝光能力的企业使用的更先进的光致抗蚀剂工具之一。TEL ACT 8系统的设计提供了非常稳定、均匀、可控的硅片、光刻测试面罩、抵抗材料等需要深紫外线曝光的材料。该装置设计有一个由高输出汞蒸气灯组成的曝光室，并采用反射曝光方法确保最佳曝光结果。TOKYO ELECTRON ACT 8机器包括一个自动化控制器工具，其设计提供精确的聚焦和对准，监控曝光过程，并在曝光过程中即时提供反馈和修正。这一曝光控制资产还配备了光学和紫外线强度传感器，能够识别最佳曝光时间、焦点和曝光结果。该模型可以配置光学快门机构，使具有平滑甚至过渡的多层抗蚀剂在曝光前可以曝光或与多层抗蚀剂层结合。这使用户能够在光学对准的情况下实现更复杂的图样，并以大大减少的不均匀度和形状变化实现更精确的传输图样。ACT 8设备还包括一个基板预烘烤特征，确保基板在暴露于深紫外线之前是预烘烤的。这使用户能够确保接触到的材料在接触到之前将得到适当的粘合和充分的准备。预烤特性还有助于减少接触材料的固化时间，确保接触过程更快、更可靠。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT 8系统是业界较先进的光刻胶系统之一。其设计具有先进的特点和卓越的精确度，以确保卓越的深紫外线曝光能力。曝光控制单元、预烘烤功能和快门机构使机器成为需要可重复可靠光刻处理能力的公司的可靠且高度可定制的解决方桉。