二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235975 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光致抗蚀剂设备是半导体加工的重要工具。用于在半导体晶片表面蚀刻图样，形成构成电子电路和元件的电子路径、结构和器件。TEL ACT 8光刻胶系统使用光刻胶，一种应用于晶片表面的光敏材料。当受到光线照射时，光致抗蚀剂改变其化学成分，成为投射到晶片表面的图样的负像。TOKYO ELECTRON ACT 8单元允许用户控制所应用光刻胶的图样定义、形状和尺寸。光的曝光时间和强度可以设定为与光抗蚀剂的特定化学成分相匹配，使开发者能够精确控制线宽、分辨率甚至深度等特征。ACT 8机器还具有若干安全功能，可以防止光刻胶的不正确暴露。使用一种算法来控制曝光持续时间，从而避免不正确的曝光，同时确保正确的结果。该工具还配备了一个安全快门，在维护期间或更换抗蚀剂时阻挡光线，进一步确保操作员不会损坏晶片。在TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光刻资产中发现的特性组合使得它成为光刻发展的理想工具。控制特性和安全措施的能力有助于确保结果可靠和一致。再者，第8代模型增加了灵活性和高水平的自动化，允许更快、更高效的光刻工艺。
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