二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9241944 待售
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ID: 9241944
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Dual block
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是TEL（TOKYO ELECTRON）为半导体生产过程中的光刻设计的光刻设备。TEL ACT 8系统使集成电路（ICs）能够以更高的精度和小型化来生产。该单元基于照明光刻和浸入式光刻的核心技术。TOKYO ELECTRON ACT 8机增强的照明技术降低了衍射和失真的影响，使复杂的IC能以更高的精度进行最佳的图样化。其浸入式光刻功能可实现极小的音高。这是通过利用低数值孔径（NA）投影透镜和辐射源来实现的。这允许在半导体晶片上进行精确的图样和高分辨率打印。该工具还配备了先进的抗反射技术，减少了可能污染晶圆和最终产品的不需要的光反射。TOKYO ELECTRON ACT 8资产还具有内置的暗色基板（DS）检验模型,该模型在光刻工艺之前或过程中检查晶圆上的任何缺陷。这为用户提供了晶圆状态的精确实时信息，大大提高了最终产品的可靠性。该设备还配有标记对准系统（MAS），用于在晶圆上精确放置芯片。此外，单元中包含的模式校正软件确保每个芯片在生产过程中放置在正确的位置。ACT 8机器的CCD相机能够监控整个光刻印刷过程。这有助于在过程进行期间监视模式中的任何意外更改,从而允许在晶圆损坏之前进行更正。该工具还具有位置检测安全（PDS）资产,可帮助防止未经授权的人员访问模型。TEL ACT 8光刻设备是目前用于IC生产的最先进的光刻系统之一。它在照明和浸入式光刻技术之间提供了极好的平衡，能够以最精确的精度生产高度复杂的集成电路。DS检验和MAS还有助于确保芯片放置和晶片质量在整个制造过程中得到维护。
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