二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9244824 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是为先进光刻设计的光刻设备。该系统为研究人员和行业专业人员提供高分辨率、可重现和健壮的模式能力，以便在先进的半导体晶圆技术中开发电子电路。该单元基于一种自对准的多层抗蚀剂技术，能够对纳米粒子进行高分辨率的阵列，并完全控制图形的几何形状和大小。抗蚀剂机器由深紫外线光源和抗蚀剂配方组成，为最佳的图样性能量身定制。深层紫外线光源允许高精度和高效的模式的抗蚀层具有广泛的曝光范围。设计了抗蚀剂配方，对图桉尺寸及其平版印刷特性进行精确控制，实现了良好的图桉保真度和可重复性。这些功能为工具提供了高生产力和均匀性,使其成为高性能内存和图像传感器等关键应用领域的理想选择。该资产支持溷合层光刻，使设计者能够将几层正负抗蚀剂组合在一起，以精确控制生产中的图样尺寸和其他关键参数。此外,该模型还具有高级自动聚焦和自动曝光功能,并具有预先编程的过程参数,可重复和准确的结果。TEL ACT 8设备配备了直观的界面和用户友好的控件，为用户提供了对所有工艺参数的方便和精确的访问。它还附带了全面的文档和广泛的应用程序支持。该系统与广泛的蚀刻沉积工艺兼容，还支持多项目晶圆功能。TOKYO ELECTRON ACT 8是一种多功能、有效的光刻装置，为用户提供先进的光刻性能和可重复性。它具有先进的自动聚焦和曝光功能以及可靠的过程保真度,即使应用要求苛刻,也能提供出色的模式控制。其全面的支持和用户友好的界面使其成为研究实验室和生产环境的理想选择。
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