二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251356 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）开发的光阻设备，设计用于电子器件处理。适用于门电极、互连图样、接触塞形成等器件的大规模细线光刻。该系统包括光源、曝光室和曝光控制单元。光源是一种高功率的紫外线准分子激光器，在深层紫外线范围内提供稳定的照明。它能够提供具有均匀线宽和高度的优化曝光轮廓，以确保图样的精确打印。此外，曝光室还采用高精度光学机器，可实现一致的阵列。冷凝器和投影透镜这两种透镜的组合，将高辐照度的光聚焦在光刻胶上。曝光控制工具是一个完全自动化的过程，能够精确控制剂量和模式的小型化。这样可以确保高质量的模式形成和优于手动操作的性能。它与用户友好的GUI（图形用户界面）和可编程曝光参数管理集成在一起。此功能允许批量处理,并进一步减少曝光时间和成本。总体而言，TEL ACT 8是一种可靠且易于操作的光敏资产。其特点和性能允许高精度的图桉形成和最小化的缺陷。该模型可用于半导体器件制造、薄膜器件加工、印刷电路板制造等多种应用。