二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9253993 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是为集成电路和半导体制造中的光刻工艺而设计的光刻设备。它用于在晶片上创建模式以产生电路。该系统以酸催化热氧化（ACT）为基础，能够对尺寸范围广泛的晶片进行阵列化。TEL ACT 8单元提供高分辨率成像机，能够产生低至0.2微米的亚微米特性。利用光源放大技术，提高了制图工艺的精度和分辨率。TOKYO ELECTRON ACT 8也利用多层处理来製造複杂的图样。按顺序应用多层抗蚀剂,从而可以创建更精细的垂直分离抗蚀剂层。该工具的设计是为了提供出色的图样制作,从而产生高产量的产品.ADVACT 5掩模对准器是为了满足生产规模光刻的高速和吞吐量要求而设计的。它可以在干燥或潮湿的基板上运行，从而实现高度精确的光成像过程。它还具有自动晶片处理资产和紫外线抑制机制，有助于减少图样成像中的缺陷。该型号还包括一个多源灯座，支持一系列光源。灯座设计既提供高对比度又提供高分辨率，确保了一贯的高画质。简而言之，TEL ACT 8是一种先进的光刻设备，为半导体和集成电路的制造提供了高质量的图像和图样制作工艺。它具有多层处理、高分辨率成像系统、自动晶圆处理和多源灯座。该系统旨在提高图样成像的吞吐量和产量。