二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9262481 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款提供卓越精度和重复性的全自动光刻设备。该系统采用高分辨率成像光学、精确运动控制和高级软件算法，以确保化学放大的抗性处理一致性。TEL ACT 8的光学器件赋予其光刻成像所需的准确性和分辨率。光学单元包括一个大功率汞弧灯、一个光学冷凝器、一个照明机、一个用于在晶圆上成像的光学掩蔽投影工具，以及一个具有regiogen驱动聚焦机构的处理器单元，可以检测、测量和控制焦点。光学器件配置为获取3D图像以获得最高精度。TOKYO ELECTRON ACT 8的底盘包括一个舷外电机电机控制资产，驱动高精度机械臂的运动，用于机器的精确定位和晶圆的曝光。此模型还包括一个张力装置,可确保在成像和处理步骤期间对掩模进行适当的张力。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8的软件旨在为正在处理的晶圆的任何给定部分提供统一的沉积和暴露参数。软件还包括多个流程参数监控功能以及诊断和反馈机制，允许调整参数以保持一致的性能。ACT8光敏设备是目前市场上最准确可靠的系统。它非常适合于半导体和微系统的制造，以及其他光致抗蚀剂相关的工艺。该设备提供的精确度和可重复性允许极其精确的图像传输和最高质量的设备制造。