二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9269550 待售
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ID: 9269550
优质的: 2012
(2) Coater / (2) Developer system
(2) Edgeless bellow pumps
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2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种为了最佳的薄膜形成和图样性能而设计的光致抗蚀剂设备。它是专门为先进的研发和大批量生产半导体器件制造而开发的高度先进的光刻系统。该装置采用改进的薄膜材料沉积工艺,能够生产各种薄膜材料中的薄膜和厚膜。这些薄膜可以使用机器的先进成像工具快速高效地成型。该资产非常精确,允许对VLSI电路和高速触点等结构进行精确模式化。TEL ACT 8具有500微米分辨率步进式成像模型。它包括超高分辨率自动对焦和精细对准能力,可以处理正负光敏。先进的光刻设备包括强大的空间光调制器(SLM)和激光对准装置,使其适合复杂的图样。该设备还提供了具有快速、精确打印头的高速模式生成过程。模式大小、形状和长宽比也可以用专有软件轻松调整。这使得该系统可用于各种膜的湿法和干法加工,包括热法和电化学材料。该机组还配备了真空和温度系统,用于控制沉积和处理。这种技术的结合为精细的光刻面罩和精确的图桉提供了最高的精度水平。TOKYO ELECTRON ACT 8是一款功能强大且可靠的光刻机,旨在满足高性能生产研究设施的需求。它的多功能性和精确度使其成为精确的光刻工作的完美工具,并为您所有的半导体器件制造要求提供可靠的结果。
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