二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9273823 待售
网址复制成功!
ID: 9273823
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
(2) Coater (2) Developer system, 8"
Single block
(3) PCH
Direction: Left to right
RRC Pump
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是用于先进半导体生产工艺的高精度光刻设备。该系统利用先进的激光光刻技术,以精确的物理尺寸和高水平的细节创建缩小的电子设备和组件。TEL ACT 8单元提供了一个通用平台,用于在硅片、绝缘基板和印刷电路板等多种材料上制造CMOS、BiCMOS、DMOS和BCDMOS集成电路。该机具有先进的激光可控激光硬件,具有出色的稳定性和动态响应,能够处理最具挑战性的光刻工艺。该工具使用多种FELIX激光器在248 nm至356 nm的不同波长下工作,用于掩蔽、定位和暴露各种材料和装置结构。它还使用ScanCam型激光Writer光掩模发生器在低至十分之一微米宽的细线走廊中精确定位高级光掩模图桉的结构。TOKYO ELECTRON ACT 8的光阻处理器采用高端激光驱动扫描系统,由于其分辨率高、响应时间快,优于基于X射线和步进光刻的方法。处理器具有先进的喷射处理、脉冲喷射泵技术以及各种缓冲级别,以确保高端处理效果。此外,ACT 8使用高度先进的热成像技术对电子设备和基板进行精确和可重复的检查和测量。它还为材料和过程控制提供了一个用户友好的界面,提供图像数据的实时分析和显示。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种高端光刻资产,适合先进半导体生产工艺的苛刻要求。此模型有助于快速开发高性能、技术复杂的设备,同时为制造高级电子产品提供了一个高度精确和可靠的平台。
还没有评论