二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9279593 待售
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ID: 9279593
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
R Type
In-line
Block: 2
Hard Disk Drive (HDD)
Loader
Main controller type: Type #3
Coater:
(3) Nozzles
RRC Pump
(2) Buffer tanks: 3 L
Side rinse (EBR)
(2) Back side rinses
Developer:
H Nozzle type
(2) Buffer tanks: 3 L
(2) Rinse nozzles
(2) Back side rinses
(2) Adhesion process stations (ADH )
(12) Low temperature Hot Plate stations (LHP)
(2) High Temperature Hot Plate Process Station (HHP)
(8) Chiller Plate Place (CPL)
(4) Transition Stage (TRS)
(4) Chilling Hot Plate (CHP)
(2) Cup Washer Holder (CWH)
(2) Shuttle Module (SHU)
IFM
EIS Type: ASML
WEE
AC Power box
Chemical box
Temperature controller
T and H
MFC.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种为先进的晶圆级工艺而设计的光致抗蚀剂设备。该系统结合了高级自动化功能和手动用户控制,提供了高度的灵活性、准确性和效率。TEL ACT 8包括几个集成组件,包括广播喷雾器、光刻涂层、模块和多个炮塔系统。用于微调光致抗蚀剂的喷雾器按照一步一步的过程工作；首先预溷合光致抗蚀剂，然后使用可控的爆破压力和喷雾速度在晶片上均匀喷洒。从那里开始，涂料使用固定的喷雾宽度和转数来保持均匀的薄膜厚度，这是高分辨率处理的关键步骤。TOKYO ELECTRON ACT 8模块用于在编程的曝光周期开始之前加热、对准和聚焦工具的光束。使用模块的高功率光学桶可以微调耐热性和化学性,这也有助于保持稳定、均匀的处理温度。为了进一步确保准确性和效率，炮塔系统设计用于相机和投影仪之间的无缝集成。可伸缩的炮塔臂有助于快速、经济高效地更换模块，而高速自动对焦装置则有助于相机和投影仪在一系列光刻材料上精确对准。总体而言，ACT 8为用户提供了一种创新的光刻胶解决方桉，旨在提高精度和效率。该机器将高级自动化功能与用户指定的控件结合在一起,从而实现最大的灵活性和可靠性。TOKYO ELECTRON ACT 8工具凭借其无偏见和可重复的结果，还简化了光致抗蚀剂工艺，降低了间接费用，增加了潜在的投资回报。
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