二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9281476 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
ACT 8
ID: 9281476
(2) Coater / (3) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种光阻设备,在电子工业中广泛用于光刻和直接成像过程。该系统是一个全自动的可编程单元,为用户提供处理各种基板的能力。TEL ACT 8由真空处理室、模式识别站和过程控制中心组成。真空处理室由阴极和阳极两部分组成,连接到基板支架上。真空处理室的设计旨在为光刻工艺提供一致、精确的腔室环境。该机设计有耐化学的铝室衬里,以保护底物免受环境中可能存在的其他化学物质的氧化或污染。模式识别工作站使用加载到工具上的已编程CAD文件。然后,资产将根据CAD设计生成在光刻过程中使用的模式库。模式识别软件还可用于检测主模式的微观变化,允许在原始模式和最终产品之间进行调整。工艺控制中心为用户提供了一种化学浴控制和基板运动控制的手段。控制中心允许用户根据所需的化学蚀刻或沉积过程微调化学浓度和温度。这允许用户控制从腔室内制造的基板的确切物理特性。该模型可用于加工玻璃、硅、二氧化硅、石英等基材。设备极为精确,允许其他机器无法再现的极其精确的沉积过程。该系统设计为用户友好,允许专业和休闲用户快速、轻松地调整各种基板的工艺设置。总之,TOKYO ELECTRON ACT 8是一种先进的、高技术的光敏装置,设计用于电子工业的光刻和直接成像过程。该机器提供了一个可靠、精确的环境,在其中处理各种基材,并对最终产品的精确物理特性进行了极好的控制。此工具提供了更高的准确性和一致性,并且用户友好,使其成为电子行业的理想资产。
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