二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9283788 待售
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ID: 9283788
优质的: 2009
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2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种光刻设备,设计用于半导体工业中的光刻。它是一个晶片步进系统,利用电阻开发过程将图样从光掩模转移到硅片。该单元通过光掩模将光刻涂层的晶片暴露于光中,从而在晶片上创建图像。然后将图像从晶片传输到电阻显影层,用于在光刻胶层中形成图样。机器被安置在一个隔热的外壳中,并配有两个加热系统,一个温度控制的晶圆冷却工具和一个量身定制的电机控制资产。它采用高分辨率八英寸Koehler高分辨率自动对焦模型来精确绘制半导体晶片的图样。该设备能够处理直径不超过8英寸、成像分辨率不超过4微米的硅片。TEL ACT 8利用了广泛的操作模式,包括分辨率增强、自动曝光级别和不同的图像源,允许进行微调以获得最佳效果。它还与多种化学材料、涂层工艺和防护面膜兼容。TOKYO ELECTRON ACT 8通过直观易用的软件解决方桉进行控制。该系统还提供了一系列图形工具和交互式功能,以促进单元操作和改进结果。它专为快速设置和操作而设计,能够在手动和自动模式下运行。ACT 8还提供各种跟踪选项,包括曝光图、逐层晶圆映射和自动层放置。它采用自动缓冲设计,以最小的速度损失提供高速光刻胶开发。其自动装载机还允许晶圆的快速装卸。总体而言,TOKYO ELECTRON ACT 8是一款功能强大、用途广泛的光刻机,专为高速晶圆处理而设计。它能够以最小的速度损失产生高度精确的图样,为半导体行业的先进光刻要求提供了理想的解决方桉。
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