二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9285382 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种光阻设备，设计用于提供经济高效、高性能的表面处理。该系统是用于清洁、烘烤和开发应用于基板的光刻胶的自动化工具。它使用氦气、氮气和氧气的组合运行，可以处理尺寸达8英寸的底物。TEL ACT 8主要由光敏涂抹器和图像传递室两个部分组成。在光致抗蚀剂涂抹机中，氦气用于在基材上涂抹光致抗蚀剂薄膜，而氮气则用于在烘烤室中烘烤前稳定光致抗蚀剂。接下来是由可编程逻辑控制器（PLC）控制的高温烘烤循环。基材涂上光刻胶烘烤后，送入图像传递室。在这里，一层光致抗蚀剂为了制造一个图桉而暴露于光中。曝光源位于基板顶部并加以控制，以提供所需的图样。在此之后，基板由空气、氮气和显影剂联合开发。最后，冲洗浴去除了多余的抗蚀剂。TOKYO ELECTRON ACT 8可以编程为自动调整各种参数，包括温度、曝光水平、工艺时间和显影剂成分。这允许在不同的基板上使用各种各样的光刻胶元件。此外,该单元还包括一个复杂的控制接口,它可以远程操作,并且可以轻松集成到自动化生产系统中。总之，TEL ACT 8是一种光致抗蚀剂机器，旨在提供精确、经济高效的表面处理。它配备了自动化功能，可以调整各种参数，以及对工具进行远程控制。通过使用氦气、氮气和氧气，以及高温烘烤循环，ACT 8使得光致抗蚀剂的清洁、烘烤和开发可以用最小的努力实现。