二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9290883 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种高科技光刻设备，用于先进的光刻，具有分辨率ofaccommodating sub-25纳米器件。该系统将传统光刻技术的高精度功能与一套强大的自动化和机器人技术相结合。TEL ACT 8具有先进的光学投影单元，配有4X点对点（P2P）镜头，以实现亚25纳米器件的高品质处理精度。该机的无掩码光刻能力是业内最先进的。TOKYO ELECTRON ACT 8包括TEL Laser Pattern Generator（LPG），它使用超分辨率对准和激光脉冲来选择性地暴露目标光抗蚀剂。液化石油气的设计是为了提高分辨率和覆盖精度，同时减少线宽变化。该工具还具有多场缝合功能，这是一种创新的复合功能，能够实现亚分辨率缝合（CFS）和大型晶片的模模缝合（D2D）。TOKYO ELECTRON ACT 8的扫描仪非常适合精确度极高的临界微量零件，这要归功于光致抗蚀剂与可信且经过验证的TOKYO ELECTRON步进器和掩模的结合。它拥有高分辨率成像资产,像素大小为1.0微米,因此有资格解决极小的特征。步进器使用晶片前端机器人（WFE），以确保更快可靠的晶片传输，同时将污染降至最低。TEL ACT 8采用多种自动化技术来优化模型速度和晶圆吞吐量。先进的全晶片级机器人头（FWR）设备可实现高速晶片处理,而Autostep实时多场曝光可同时在晶片上提供精确的磁场。实时场综合（RTFS）功能确保了精度和出色的迭加效果。此外,系统的设置时间小于5分钟,可以在几秒钟内重置。总体而言,来自TEL/TOKYO ELECTRON的ACT 8是一种功能强大的高级光刻工具,它为25纳米以下的设备处理提供了多种功能和功能。它结合了最新的成像和自动化技术,为光掩码和晶圆处理提供了高性能解决方桉。它的快速设置和最低维护要求使其成为生产环境的理想选择。