二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294152 待售

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
ACT 8
ID: 9294152
Spin On Dielectric (SOD) System.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光抗蚀剂设备是一种革命性的成像技术,在成像精度和速度方面提供卓越的性能。它旨在促进聚合物和氟材料的沉积和制图,以制造一系列先进的高科技设备。TEL ACT 8系统是利用先进成像光学技术为微电子应用提供精确分辨率的光刻平台。该装置采用高能光束扫描技术,能够快速扫描光刻材料。这种扫描技术能够产生亚µm分辨率模式。此外,TOKYO ELECTRON ACT 8在从最苛刻的氟聚合物到传统化学品的各种光刻材料中提供高质量的成像分辨率。除了令人印象深刻的成像能力外,ACT 8还包括一台紧凑的圆柱形蒙版曝光机,用于灵活的图样应用。该蒙版曝光工具包括用于精确放置蒙版的高精度六轴电机和用于最佳光强度的水平和垂直线性可变滤波器。TEL ACT 8还提供了简化过程控制的便捷用户界面。其车载软件使操作员能够完全控制照相绘制过程的各个方面,从而能够快速有效地排除故障。操作员可以方便地实时监控所有过程参数,包括曝光光、扫描速率和光照强度。ACT 8光抗蚀剂资产是一种创新的成像技术,可以快速高效地制作具有高精度细节的复杂光刻图桉。其先进的成像光学设备和简化的用户界面使照相比以往任何时候都更容易,而其高分辨率成像功能确保了在具有挑战性的光刻应用中的卓越性能。
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