二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294543 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种最先进的光致抗蚀剂设备，具有精密、速度和尺度处理各种晶片的能力。该系统通过将晶片暴露于精确的偏振光波模式中来发挥作用。此模式由用户定义的程序确定,该程序创建精确的曝光级别以确保阵列制作过程的一致性。该单元有一台超快扫描机，运行速度是以前系统的两倍，从而缩短了处理时间。它还具有一次批处理多个晶片、节省时间和提高吞吐量的功能。TEL ACT 8所利用的光刻胶工艺通过在晶片上施加感光膜来工作。当暴露在光线下时，产生光掩模会启动制图过程。将光掩模烘烤固化后，采用反应性离子蚀刻工艺在晶片上形成所需的图桉。通过结合曝光、烘烤和蚀刻，TOKYO ELECTRON ACT 8工具能够持续精确地制作图样。资产还具有层迭加验证模型，使检查员能够目视检查和测量每一层的精度。由于先进的过滤和清洁策略，该设备还能够降低颗粒水平。此外,系统还配备了边缘放置精度和步长控制功能,可在阵列中实现精确的重复性。总体而言，ACT 8光致抗蚀剂工艺单元提供了一种高效、精确的晶片阵列和创建电路板的方法。该机的高速和批量处理能力加上其精确度水平，使其成为市场上最好的可用光刻胶系统之一。