二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9296903 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一款用于半导体生产的先进光刻设备。它结合了两种类型的技术；绝对精确光束扫描和单甲基丙烯酸甲酯（MMA）作为光致抗蚀剂。先进的光束扫描技术使系统能够以纳米精度写入图样。MMA的使用使得产生纳米尺度特征成为可能。此外,此单元还可以高效处理尺寸不超过6英寸的基材。使TEL ACT 8如此强大的核心技术是其电子束写字机。它使用电子束，能够将图样精确地传送到基板上，使图样的分辨率小到2纳米。这项技术还可用于将梁塑造成所需的图桉尺寸,从而确保精确的图桉。单一的MMA光刻胶提供了密封涂层，防止生产环境内的污染。这使得微芯片完全没有外部物质，这会损害所产生的模式的准确性。此外，MMA在室温下快速发育干燥，允许快速周转。TOKYO ELECTRON ACT 8还利用热辅助阶段进行曝光后烘烤加工。这确保了任何困难的基材材料都能得到有效的处理，分辨率高达30nm很容易实现。通过使用信号处理技术，例如脉冲加倍和三倍，可以提供更高的精度。要操作ACT 8，用户需要使用专用软件。该软件能够旋转、对准和微调光刻机上的图样。它还支持数据存储和分析功能,从而能够准确检测细微的细节。归根结底,这可以确保以正确的精度打印所需的图桉。总之，TEL ACT 8是一种强大的光阻工具，设计用于纳米级半导体器件的精确阵列。它结合了先进的光束扫描技术和单一的MMA光致抗蚀剂，实现了所有基材的纳米级精度。此外，资产由精密软件控制，以获得更高的精度，而热辅助级则增加了更高的精度。