二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314464 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种具有先进化学处理的光刻设备。利用化学光束吸附技术，在光刻膜上的蚀刻图样具有较高的精度和精确度。该系统主要用于半导体生产和器件制造，设计方便用户、高效。该单元使用四束扫描来最大化图样精度和精度，同时使用可变角度弹出器来降低边缘粗糙度。它还利用先进的电子束成像（EBI）来实现高分辨率成像能力。使用EBI,图像的分辨率可以降至2.5微米。包含了一个防摩尔函数，以防止图像失真。该机包括用于坚固耐用的玻璃碳级、用于环保的惰性气体清洗站以及用于精确曝光的不锈钢导板。该系列在照片上保持稳定的抗蚀性厚度和CD（临界维度）。光刻工具完成了一些自动化和手动控制。它配备了自动化的气体冲洗站、允许高达150 m/s高速处理的高速控制以及离线模式编辑等自动化功能。此外,手动控制还提供了对过程的更精确控制,包括全局蒙版编辑、可调节的光强度和可调节的蒙版图桉大小。TEL ACT 8的设计既方便用户又环保。它几乎不需要维护，干净开放的设计保证了安全舒适的工作环境。该资产已获得环境管理系统质量管理模型ISO14001的认证。这种先进的光刻设备非常适合半导体生产和器件制造过程。它提供高精度的图桉、稳定的抗厚度和高品质的成像，同时保持环保和用户友好的设计。
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