二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314468 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是专门为光刻应用而设计的光刻设备。其主要目的是提供对基板上抗蚀性涂层的精确控制，使接触孔等微米尺度特征得以暴露。该系统由几个组件组成,每个组件都满足特定的目的。主要部件是：真空轨道：这是由不锈钢制成的，并允许基板通过单元内的各个站。它还有助于确保均匀的抗性涂层。晶圆放置机：利用步进电机将基板精确定位到刀具内部的精确位置。涂层室：这是将抗蚀剂涂抹并烘烤到基材上的地方。腔室还控制腔室内部的环境条件，以达到均匀的抗蚀涂层。一种抗蚀剂涂抹器：使用自旋涂层工艺将抗蚀剂施加到基板上.高分辨率热成像资产：该模型允许暴露微米级特征，如接触孔。它由一个加热元件和一条绕基板移动并精确控制温度的冷却管线组成。一种激光束曝光设备：该系统使用激光束来曝光基板上光敏层上的图桉。总体而言，TEL ACT 8光致抗蚀剂装置的设计是为了对基板上的抗蚀剂涂层提供可靠和精确的控制，确保令人满意的结果。该机占地面积小，热控性好，可用于多种应用。凭借其高分辨率的成像能力，它还可以轻松暴露微米级特征。该工具还为用户提供各种设置，以针对每个用户的特定需求优化流程。这使得它成为光刻应用的宝贵工具，对于先进的微加工工艺至关重要。