二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9315802 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是提供精确纳米级光刻和蚀刻的下一代光刻设备。它是TEL及其合作伙伴TOKYO ELECTRON设计制造的一系列产品的一部分。TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL ACT 8在光刻工艺控制方面提供了前所未有的精度、速度和灵活性。该系统由一个由高性能数字媒体控制器供电的主光刻单元组成。光刻单元能够处理各种材料，包括玻璃、聚酰亚胺、氧化二氧化硅和其他金属。也可用于执行需要高精度的临界蚀刻过程，如等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻、离子束蚀刻等。机器的主要部件包括数字媒体控制器、传感器、喷嘴和各种工艺仪器。数字媒体控制器负责控制工具参数，包括曝光时间、聚焦距离和焦点。传感器测量材料的表面地形，使资产能够维持所需的暴露条件。喷嘴用于在材料表面上释放少量蚀刻或光刻材料，确保满足所需的工艺要求。该模型还包括一系列能源和工艺选项。这允许以纳米级精度形成结构和图桉。设备使用多种能源和工艺选项，包括图样发生器、激光扫描系统、直接激光写入和电子束光刻。此外，该系统还配备了一个集成的氦氙照明单元，以提供样品表面的均匀照明。TOKYO ELECTRON ACT 8是一款先进的精密光刻和蚀刻机。适用于微电子、光电、医疗设备封装、MEMS设计等工艺。它能够以卓越的精度、速度和灵活性制造纳米级结构。该工具的综合工具集和可靠的性能使其成为高精度光刻和蚀刻应用的绝佳选择。