二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9352785 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种光致抗蚀剂设备，设计用于半导体制造的涂层、对准和曝光光致抗蚀剂。该系统结合了高速操作和卓越的结果可重复性,具有灵活性,用户可以自定义其光刻胶使用,以便针对其特定过程进行优化。TEL ACT 8设计具有很高的吞吐量能力，与基于连续高速、高精度边缘控制的两级机器人扫描模式保持一致。对于大型基板,这种流线型方法允许涂层、校准和以高达1000 mm/sec的速度曝光。该装置还配备了先进的热控制机，即使在大批量过程中也能提供稳定的厚度和组成结果，并设计用于激进的操作坡道。为确保温度范围和性能均匀，TOKYO ELECTRON ACT 8还设计了多区环境控制工具。这一资产能够保持沉积和其他工艺在狭窄的温度范围内运行，并确保每个循环都能达到光刻胶层的正确组成和厚度。ACT 8模型还具有先进的真空设备，有助于减少污染，提高曝光均匀性，并提供更高的成像精度。该系统通过计算机进行控制，模块化设计，以提供灵活性，并确保高效的维护和单元升级。综上所述，TOKYO ELECTRON ACT 8是一款先进的光刻机，提供高速操作和结果重现性的结合。该工具旨在将沉积和暴露保持在非常狭窄的温度范围内，以确保均匀性和准确性，并具有先进的真空资产，以减少污染物和增加暴露均匀性。计算机控制模型经过模块化设计，便于维护和更新，并提供了高水平的用户定制能力，以针对特定的工艺需求优化光刻设备。