二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9407748 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一种最先进的光刻胶处理解决方桉，旨在满足微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）生产的广泛要求。该设备兼具纺丝和皮带工艺，适合多种光刻胶加工应用。它旨在提供卓越的性能、高吞吐量和高水平的过程灵活性。TEL ACT 8能够处理光敏抗蚀剂图样和亚微米级结构。它专为微米和纳米米范围内典型尺寸的多层MEMS器件的大批量生产而设计。该系统配备了一个高性能表面涂层站，可处理各种基材，表面涂层精密，厚度可达18 μ米。TOKYO ELECTRON ACT 8配备了多种控制技术，包括多区自旋涂层、数字喷墨打印机、卷对卷晶片前、二维掩模对准、近场投影显微镜和集成过程反馈回路。这些技术使工艺的准确性和可靠性达到了很高的水平。此外，TOKYO ELECTRON ACT 8还能够进行脱胶、烘烤及烘烤/冷却等后处理活动。多用途的自旋涂层和晶片前工作站提供了突出的结果，而不会损坏光刻胶层或器件基板。ACT 8单元高度灵活，用户友好。它能够存储多达1000个用户配方,使客户能够轻松实施各种流程更改。该机器还具有非常直观的图形用户界面（GUI），使用户能够轻松浏览各种光刻胶处理步骤。此外,其复杂的软件体系结构降低了调整过程参数的复杂性,并实现了高精度。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8光致抗蚀剂加工工具提供高性能、高通量和低工艺成本。它是寻求先进光刻胶加工技术满足MEMS生产要求的理想解决方桉。