二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT #9290877 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT （TEACT）光致抗蚀剂设备是一种前沿技术，设计用于对半导体晶片进行高精度的阵列化。TEACT系统使用专有的深紫外线（DUV）光源来照射光抗蚀剂涂层的晶片，精确控制制图过程。该单元包括几个关键组件，包括一个自动控制器（ACU）、模式发生器（PG）、辐射能源（RES）和电源（PS）。ACU是TEACT机器的控制中心，允许用户控制晶圆阵列制作过程的各个方面。ACU与PG接口生成并控制应用于晶圆的模式。PG使用矢量格式进行格式阵列,允许精确应用复杂的阵列。RES是TEACT工具中使用的DUV光源。这种最先进的光源产生短波长辐射，范围从193nm到248nm，允许极其精确的图样。源可以自动化，允许在晶片上大规模生产完美图桉的层。PS向RES供电,控制施加到晶片上光刻胶层上的能量。这有助于确保光致抗蚀剂暴露在均匀和一致的光照下。TEACT资产为用户提供了最先进的精确阵列功能。它的自动化控制允许在晶片上生产结构完美的层，使其成为半导体晶片阵列的理想解决方桉。该型号的下一代DUV RES促进光刻胶层的均匀曝光，而可自订的ACU-PG介面则让使用者能够控制製图过程的方方面面。使用TEL ACT设备,无论应用程序如何,用户都能获得卓越的效果。