二手 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607974 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300是一种用于多种应用的光刻胶设备，包括半导体和薄膜沉积/蚀刻、LED製造、表面安装技术。该系统配备了高端光学成像级，允许精确聚焦和对准控制。这与6区平台相结合，提供了先进的温度均匀性和控制性。TEL CL1300提供卓越的灵敏度和分辨率,使其能够检测和处理低至0.1微米的特性。利用机组先进的紫外线曝光头，用户可以达到0.5微米或更好的线缘/宽度控制。它还利用各种先进的定向曝光技术，如离轴定向曝光和离轴轴曝光。这台机器是为高效的生产过程而设计的.它可以从三个不同的来源同时进料光刻胶卷纸，每个来源都可以有自己的曝光设定。此外,一系列警报（如温度愤怒、化学物质污染和电源故障）,可以快速、方便地排除故障。TOKYO ELECTRON CL1300也是为化学管理而建造的。它包括精确的剂量功能，以及一个全面的配方管理工具，允许用户直观地管理毯子抵抗，暴露抵抗和后发展抵抗。此外，化学储罐可以通过多种选择进行监测，例如压力、化学浓度和温度。最后,资产提供了广泛的选项,如集成加载程序、分类器和托盘,以及自动质量检查工具,如高级光学检查模型（AOIS）。总之，CL1300是一种功能强大且经济实惠的光刻设备，为各种应用提供了广泛的特性和功能。