二手 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #9378266 待售

ID: 9378266
Coater Excimer UV-laser.
TEL/TOKYO ELECTRON CL1300是一种广泛应用于微加工和纳米加工应用的光刻胶设备。该系统采用先进的环境成像曝光工具,以比同类系统更高的精度,更快、更高效、更高精度的直接模式传输,从而颠覆了传统的光刻工艺。TEL CL1300光敏装置的特点使其成为快速成型的理想选择,从原型到小系列生产。它配备了高分辨率的Poliscan扫描仪,能够以高精度再现小至1 μ m的复杂模式。其最先进的光束图像控制算法提供了均匀的曝光场和高度精确的图像,没有任何信号失真。该机器还为用户提供了对NKS(中子光谱加权)和DWS(剂量加权光谱)功能的访问,以便用户能够访问其特定需求所需的产品文件。TOKYO ELECTRON CL1300光致抗蚀剂工具还在半导体洁净室环境中提供快速可靠的轨道处理。资产的动态跟踪技术提高了生产效率,而其快速准确的曝光时间确保了在生产紧密公差产品时的高可重复性。此外,它还与大多数光敏材料兼容,消除了过程中的复杂性。集成的高级专有软件TEL ComponentsTM "Litho Assistan"也使CL1300成为纳米和微型制造应用的杰出选择。这一功能强大的面向光刻的软件不仅为用户提供了精确设计图桉、弧线和曲线的能力,而且还使他们能够控制和调节光刻过程的所有参数。此外,该软件还允许用户保存、管理和编目其数据,从而使流程更快、更高效。最后,TEL/TOKYO ELECTRON CL1300光刻胶模型设计为用户提供人体工程学体验,得益于其触摸屏控制台、直观的菜单驱动导航以及全面的诊断功能。操作员还可以访问可重复使用的配方库,帮助减少设置时间并简化生产过程。总体而言,TEL CL1300是一种革命性的光刻设备,可为用户提供更高的效率、更高的精度和快速的原型设计功能,使其成为纳米和微型制造应用的理想选择。
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