二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293616493 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款高精度的多过程光刻设备。该系统具有先进的软件控制环境，能够高精度地应用先进的光刻胶工艺。这是通过利用独特的光学控制体系结构来实现的,该体系结构可确保非常精确的曝光、对准、标注尺寸和掩码测量过程。该单元先进的光学控制系统允许以非常高的精度完成应用过程。利用这一特性，可以在不同厚度的柔性基板上以高精度完成光刻工艺。这样可以创建更复杂、更精细的结构。此外，机器还配备了静态开关工具，允许在一台机器中处理不同的基板类型。TEL Clean Track ACT 12旨在通过其腔室控制功能极其可靠和可重现。资产拥有快速的回收率和闭环控制，确保了一致的结果。此外,该型号的维护要求较低,因为它是自动清洁的,以最大程度地减少停机时间。该设备还允许执行各种光阻过程，如旋转涂层、热板曝光和激光曝光。它还具有高度灵敏的超声耦合系统，能够检测和精确测量很小的尺寸变化，提高精度和准确率。此外,唯一的2轴图像对齐单元允许精确对齐图像。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12适合于各种製造应用和行业，例如精密电子和半导体工业。它提供了在各种基板和表面类型中执行高精度过程的能力，这使得它成为许多光敏应用的重要工具。此外，通过保护外壳提高了工艺效率，保留了工艺中使用的能量和化学品。这可以节省能源和材料的成本，提高交付效率。