二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293823519 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一款支持光刻过程的集成设备。该系统由四个主要组成部分组成：一个自动清洁单元、一个自动定位单元、一个监控单元和一个带有晶圆映射的检测单元。自动清洗装置的设计使装有光刻胶材料的腔室保持清洁和无污染物。它由一个清洁室、一个双室除尘器和一个水力循环除尘器组成。双室除尘器将尘埃颗粒与通过腔室的空气分离出来，然后将其困在水力旋风除尘器中。洁净室是光刻胶材料加工的地方，不断监控，确保光刻胶的质量和性能最佳。自动定位装置使光刻材料的应用变得简单高效。它由两个光学尺度和两个线性尺度组成，有助于精确设置所需的曝光点。这允许用户在给定的应用程序中精确调整光刻胶材料上所需的曝光。监视器作为工具的大脑.它由一个触摸屏显示器和一台综合计算机组成，记录来自自动清洗单元、自动定位单元和检查单元的数据。然后可以分析这些数据，以确定光刻材料的最佳曝光时间、水平和位置。带有晶片映射的检测单元允许对光刻胶材料进行详细的目视检测。它由高分辨率成像相机和强大的照明资产组成。这允许对光刻胶材料的表面特性，如缺陷、粒径和结构均匀性进行清晰详细的检查。晶圆映射还有助于定位应力或变形的任何区域，然后可以用来纠正光敏材料中的任何缺陷。TEL Clean Track是一个高效可靠的模型，使光刻胶工艺更加容易和高效。其自动清洗单元和自动定位单元有助于精确准确地应用光刻胶材料，而其监控设备和检查单元则允许进行详细分析和目视检查，以确保光刻胶材料质量最高。