二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9037669 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
ID: 9037669
晶圆大小: 12"
Coater / Developer system, 12" Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一种先进的光致抗蚀剂设备,用于包括半导体器件和电子元件的制造等多个领域。它旨在最大限度地减少颗粒和化学污染,同时提供高性能。TEL Clean Track ACT 12的核心是其先进的光学系统,它使用先进的光源产生长波或短波能量脉冲。然后,这种光被引导到一系列反射镜上,以精确地将其定向到指定的光敏目标。对光源进行了优化,以满足光刻胶的加工要求。为了确保整个目标表面上的能量分布均匀,使用激光光纤束将能量聚焦并传输到目标。然后将激光能量调整到所使用的特定光致抗蚀剂的适当水平。除了光光源外,TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12还设有高速执行器单元,用于精确控制光束方向。这种执行器机能够精确调整光束的角度,并确保光刻胶在加工过程中正确曝光。ACT 12还具有创新的光学技术,包括高分辨率图像增强和高对比度成像。该工具经过优化,可提供最大对比度和图像保真度,并具有最小背景噪声。Clean Track ACT 12除了改进光致抗蚀剂加工外,还有助于降低粒子和化学污染的风险。为此,资产配备了增强净化模型,以减少潜在污染物并防止其造成损害。完整的TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12与先进的工艺控制技术完全集成。这一技术有助于确保光刻胶正确地暴露在光束中,并且在规定的时间内完成这一过程。TEL Clean Track ACT 12设备是一种强大的光阻处理系统,可用于创建高质量的半导体器件和电子元件。它在制造过程中使用时提供精确度和准确性,有助于降低生产过程中可能引起问题的化学品和颗粒的风险。
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